等离子技术可应用于不同材料的表面处理。

重量：约15kg不含泵 等离子腔体：直径105mm,L300mm 腔体容积:约2.6升 气体连接:双路气体通道通,无电磁阀控制 等离子发生器：40kHz/100W,无级可调,或者13.56MHz/50W 控制方式：手动,工艺时间通过定时器控制或自动,通过嵌入式PC控制 连接件：气体输入端气管(内径4mm,外径6mm) 电源:220V-240VAC/6A50-60Hz 排气管:10mm 真空泵：旋片泵2.5m3/h

工业材料：如玻璃、金属，塑料制品、纺织品及陶瓷制品 所有材料的表面激活

1.连接真空泵电源到插座。 2.连接等离子清洗机电源到插座。 二、排除空气 3.将样品放入舱室内。 4.检查针阀和三通阀是关闭的。(处于垂直位置,如下图) 5.按住清洗舱舱门。 6.打开真空泵开关。大概几分钟后,舱室处于负压状态,真空状态会让舱门 自动关闭。 7.打开气体钢瓶上的阀门,将压力调节在5~10PSI。 二、通入气体 8.打开通向工艺气体的三通阀(针阀为水平位置,如下图) 9.轻轻地打开针阀让气体通入3060秒。 三、产生等离子体 10.打开清洗机前面板的电源开关。 11.将射频发生器功率开关调至合适的功率。 12.通过舱门的玻璃窗观察舱内,当产生辉光放电现象时,证明等离子体已激 发 13.调节针阀直到等离子体明显最大,这大概相当于最佳等离子生成的条件 14.样品处理一定时间,处理结束后,将RF电源旋至OHF 15.关闭清洗机开关。 16.关闭气体钢瓶阀门。 17.13分钟的真空泵抽出残余的工艺气体从舱室 18.关闭针形阀。 19.关闭真空泵。 20.按住等离子清洗机舱门门并慢慢将三通阀打开至排气状态(水平指向排气, 21.当舱荤排气时,继续孩柱舱门。当达到常压后,离开舱门。